2024-02-MKP-카탈로그28p-국문_수정2(저)

▪테프론 디스크 적용 - 독성 및 부식성 가스에대한내구성보장 - 소성 변형을 통한전구간 응답 속도개선 ▪안전 기준강화를위한서지보호회로적용 ▪환경 온도변화에도 정확도를 유지하기 위해온도보상회로적용 제품 설명 VIC-D200 Series Digital Mass Flow Controller 제품 사양 구분 VIC-D210 VIC-D220 VIC-D240 VIC-D245 유량 범위(N 2 기준) 5 sccm ~ 1.5 slm 1.5 ~ 50 slm 50 ~ 200 slm 200 ~ 400 slm 유량 제어 범위 풀스케일 기준 2 ~ 100% 정확도 풀스케일 기준 ≤ ± 1% 풀스케일 기준 ≤ ± 2% 응답 시간 ≤ 1 sec (10 ~ 100%) ≤ 1.2 sec (20 ~ 100%) ≤ 1.5 sec (10 ~ 20%) 선형성 풀스케일 기준 ≤ ± 0.2% 재현성 풀스케일 기준 ≤ ± 0.2% 밸브 형식 Normally Closed Solenoid 씰의 종류 Elastomer (Viton ® , Viton-ETP ® , Kalrez ® , etc.) 입출력신호 아날로그 모드: 0 ~ 5VDC or 4 ~ 20mA 디지털 모드: RS-485 (D-NET 가능) 전원 +24VDC (+15VDC 제품 주문 생산 가능) +24VDC 권장 사용 온도 범위 15 ~ 35℃ 안정화 시간 30 min 커넥터 D-SUB 9P MALE (D-NET전용: M12 5P MALE) 무게(STS기준) 0.95 kg 0.97 kg 1.87 kg 3.3 kg 무게(AL기준) 0.67 kg 0.69 kg 1.35 kg 2.09 kg ※ sccm과 slm은 표준상태(0℃, 101.3 kPa)에서의 유량 단위입니다. ※ 본 사양은 예고없이 변경될 수 있습니다.