2024-02-MKP-카탈로그28p-국문_수정2(저)

CAF-100 Series Digital Mass Flow Controller 제품 사양 구분 CAF-145  CAF-150  CAF-155 유량 범위(N 2 기준) 100 ~ 500 slm 500 ~ 2,000 slm 2,000 ~ 3,000 slm 유량 제어 범위 풀스케일 기준 2 ~ 100% 정확도 풀스케일 기준 ≤ ± 2% 풀스케일 기준 ≤ ± 2.5% 응답 시간 ≤ 1.5 sec  ≤ 2 sec 선형성 풀스케일 기준 ≤ ± 0.2% 재현성 풀스케일 기준 ≤ ± 0.2% 밸브 리크 1) 풀스케일 기준 ≤ ± 1% 밸브 형식 Normally Closed Solenoid 씰의 종류 Elastomer (Viton ® , Viton-ETP ® , Kalrez ® , etc.) 입출력신호 아날로그 모드: 0 ~ 5VDC or 4 ~ 20mA 디지털 모드: RS-485 (D-NET, EtherCAT 가능) 전원 +24VDC 권장 사용 온도 범위 15 ~ 35℃ 안정화 시간 30 min 커넥터 D-SUB 9P MALE (D-NET: M12 5P MALE, EtherCAT: M8 5P MALE) 무게(STS기준) 7 kg 10 kg 14 kg 무게(AL기준) 5.63 kg 7.64 kg 10.55 kg 1) MFC의 제어(Control) 밸브는 정밀한 제어가 가능하지만 차단(Shut-off)을 위하여 설계되지 않았습니다. 차단이 필요한 경우 별도의 차단 밸브를 설치하여 사용하십시오. ※ sccm과 slm은 표준상태(0℃, 101.3 kPa)에서의 유량 단위입니다. ※ 본 사양은 예고없이 변경될 수 있습니다. ※ 엠케이프리시젼의 전 제품은 특허받은 기술로 제작되어 특허법의 보호를 받고 있습니다. ▪더블디스크 밸브구현 - 낮은 압력으로 대유량제어가능(17page 하단참조) - 컴팩트한제품 사이즈 ▪직동식 구조로 응답속도가빠름 ▪파이로트및 다이아프램 방식에비하여 내구성이뛰어남 제품 설명