2024-02-MKP-카탈로그28p-국문_수정2(저)

TSM-L100 Series Analog Mass Flow Meter 구분 TSM-L120 TSM-L130 TSM-L140 유량 범위(N 2 기준) 5 sccm ~ 60 slm 60 ~ 150 slm 150 ~ 400 slm 유량 측정 범위 풀스케일 기준 2 ~ 100% 정확도 풀스케일 기준 ≤ ± 5% 선형성 풀스케일 기준 ≤ ± 0.5% 재현성 풀스케일 기준 ≤ ± 0.5% 씰의 종류 Elastomer (Viton ® , Viton-ETP ® , Kalrez ® , etc.) 입출력신호 아날로그 모드: 0 ~ 5VDC or 4 ~ 20mA 전원 +15VDC or +24VDC 권장 사용 온도 범위 15 ~ 35℃ 안정화 시간 30 min 커넥터 D-SUB 15PIN MALE MOLEX 4P MALE 무게(STS기준) 0.46 kg 0.84 kg 1.2 kg ▪컴팩트한사이즈로공간활용이용이함 ▪보급형모델 제품 설명 제품 사양 모델 A B C D E TSM-L120 86 27.1 12.5 77 1/8''PT, 1/4''PT TSM-L130 86 36.2 17 84.1 3/8''PT TSM-L140 86 51.2 24.5 99 UNF 3/4''-16N ※ sccm과 slm은 표준상태(0℃, 101.3 kPa)에서의 유량 단위입니다. ※ 본 사양은 예고없이 변경될 수 있습니다. TSM-L100 Series 외관도면 A B E C D