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32
- VIC-D210
- ◆5 sccm ~ 1.5 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
31
- VIC-D220
- ◆1.5 ~ 50 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
30
- VIC-D240
- ◆50 ~ 200 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
29
- VIC-D245
- ◆200 ~ 400 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
28
- VIC-D145
- ◆400 ~ 1,000 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 2%
27
- VIC-D150
- ◆1,000 ~ 2,500 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 2%
26
- CAF-145
- ◆100 ~ 500 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 2%
25
- CAF-150
- ◆500 ~ 2,000 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 2.5%
24
- CAF-155
- ◆2,000 ~ 3,000 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 2.5%
23
- PSC-D245
- ◆100 ~ 500 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
22
- PSC-D255
- ◆500 ~ 2,500 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 2%
21
- EXO-110
- ◆5 sccm ~ 1.5 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%

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