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제품선정가이드

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MFC

EXO-140 EXO-100 Series

    ▪방폭 인증 획득 (인증코드_Ex-Code : Ex nA IIC T4)
    ▪파일롯 및 생산 플랜트에서 사용되는 견고한 설계 (IP65)
    ▪안전 기준 강화를 위한 서지 보호회로 적용
    ▪환경 온도 변화에도 정확도를 유지하기 위해 온도 보상회로 적용

    (본 사양은 예고없이 변경 될 수 있습니다.)  

본문

제품사양
유량범위(N2 기준) 50 ~ 200 slm
유량제어범위 풀스케일 기준 2 ~ 100%
정확도 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
응답시간 ≤ 1.5 sec
선형성 풀스케일 기준 ≤ ± 0.2%
작동원리 열식
제어벨브형식 Normally Closed Solenoid
씰의종류 Elastomer (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez®, etc.)
입출력신호 아날로그 모드: 0 ~ 5VDC or 4 ~ 20mA

디지털 모드: RS-485
전원공급 +15VDC ~ +24VDC
작동온도 5 ~ 50℃ (권장 온도 범위: 15 ~ 35℃)
커넥터 터미널 블럭 배선 방식
방폭 사용환경: ZONE 2

보호등급: IP65
디스플레이 해당없음
무게

※ sccm, slm는 표준가스유량(mL/min, L/min, at 0'C101.3kPa)를 나타내는 기호입니다.

EXO-100 Series 외관 도면
모델 A
1/4" LOK 3/8" LOK 1/2" LOK 3/4" LOK 1/4" VCR 1/2" VCR 6mm 8mm 10mm
EXO-140 200.8 204.3 208.7 217.9 198.5 207.5 201.5 203.7 205.1
  • 필터 초기화하기
  • 기능
  • 유량(N2환산기준)
  • 방폭

  • 			
  • 디스플레이

  • 신호

  • 작동원리

  • 제품시리즈

제품선정가이드 목록

Total 32건 2 페이지
  • 20
    • EXO-120
    • 1.5 ~ 50 slm
    • 제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
  • 열람중
    • EXO-140
    • 50 ~ 200 slm
    • 제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
  • 18
    • EXO-145
    • 100 ~ 400 slm
    • 제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
  • 17
    • EXO-U145
    • 100 ~ 500 slm
    • 제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 2%
  • 16
    • EXO-U150
    • 500 ~ 1,500 slm
    • 제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 2.5%
  • 15
    • EXO-U155
    • 1,500 ~ 3,000 slm
    • 제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 2.5%
  • 14
    • EPC-220
    • 제어범위: 압력 제어 범위: 100 mbar(g) ~ 20 bar(g)
    • 정확도: 풀스케일의 ≤ ± 1%
    • 응답속도: 해당 없음
  • 13
    • EPC-245
    • 제어범위: 압력 제어 범위: 100 mbar(g) ~ 20 bar(g)
    • 정확도: 풀스케일의 ≤ ± 1%
    • 응답속도: 해당 없음
  • 12
    • VIC-S220
    • 5 sccm ~ 50 slm
    • 제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
  • 11
    • VIC-W220
    • 5 sccm ~ 50 slm
    • 제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
  • 10
    • TSC-D245
    • 100 ~ 400 slm
    • 제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 2%
  • 9
    • TSC-M245
    • 0~300slm
    • 제어범위: 풀스케일의 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일의 ≤ ± 2%