MFM
TSM-D260 TSM-D200 Series
▪낮은 작동 차압에서도 정확하고 정밀한 유량측정 가능
▪디스플레이 옵션 추가 시, 유량 및 동작 상태 실시간 모니터링 가능
(본 사양은 예고없이 변경 될 수 있습니다.)
본문
| 제품사양 | |
|---|---|
| 유량범위(N2 기준) | 2,000 ~ 5,000 slm |
| 유량제어범위 | 풀스케일 기준 2 ~ 100% |
| 정확도 | 풀스케일 기준 ≤ ± 2% |
| 응답시간 | - |
| 선형성 | 풀스케일 기준 ≤ ± 0.2% |
| 작동원리 | 열식 |
| 제어벨브형식 | - |
| 씰의종류 | Elastomer (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez®, etc.) |
| 입출력신호 | 아날로그 모드: 0 ~ 5VDC or 4 ~ 20mA 디지털 모드: RS-485 |
| 전원공급 | +15VDC ~ +24VDC |
| 작동온도 | 5 ~ 50℃ (권장 온도 범위: 15 ~ 35℃) |
| 커넥터 | D-SUB 9P MALE |
| 방폭 | 해당없음 |
| 디스플레이 | 적용(Option) |
| 무게 | 12.2 kg (STS 기준) / 8.76 kg (AL기준) |
※ sccm, slm는 표준가스유량(mL/min, L/min, at 0'C101.3kPa)를 나타내는 기호입니다.
| TSM-D200 Series 외관 도면 |
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