MFC
PSC-D245 PSC-D200 Series
- 열식센서 대비 구조가 심플하며, 습기와 파티클에 강함
- 뛰어난 정확도와 안정성
- 이중밸브 구조로 빠른 응답속도
본문
| 제품사양 | |
|---|---|
| 유량범위(N2 기준) | 100 ~ 500 slm |
| 유량제어범위 | 풀스케일 기준 2 ~ 100% |
| 정확도 | 풀스케일 기준 ≤ ± 1% |
| 응답시간 | ≤ 1 sec |
| 선형성 | 풀스케일 기준 ≤ ± 0.2% |
| 작동원리 | 차압식 |
| 제어벨브형식 | Normally Closed Solenoid |
| 씰의종류 | Elastomer (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez®, etc.) |
| 입출력신호 | 아날로그 모드: 0 ~ 5VDC or 4 ~ 20mA 디지털 모드: RS-485 |
| 전원공급 | +15VDC ~ +24VDC |
| 작동온도 | 5 ~ 50℃ (권장 온도 범위: 15 ~ 35℃) |
| 커넥터 | D-SUB 9P MALE |
| 방폭 | 해당없음 |
| 디스플레이 | 해당없음 |
| 무게 | 8 kg (STS 기준) / 6.05 kg (AL기준) |
※ sccm, slm는 표준가스유량(mL/min, L/min, at 0'C101.3kPa)를 나타내는 기호입니다.
| PSC-D200 Series 외관 도면 |
|---|
 |
| 모델 | A | ||
|---|---|---|---|
| 3/8" LOK | 1/2" VCR | 3/4" LOK | |
| PSC-D245 | 199 | 199.6 | 204.6 |