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제품선정가이드

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MFC

EXO-110 EXO-100 Series

  • 대유량 흐름에 대한 빠른 응답시간
  • 방폭 인증 획득
  • 방수와 분진에 대한 탁월한 내구성(IP65)
  • Surge 보호 및 온도보상 회로 적용

본문

제품사양
유량범위(N2 기준) 5sccm~1500sccm
유량제어범위 풀스케일의 2 ~ 100%
정확도 풀스케일의 ≤ ± 1%
응답시간 ≤ 1 sec
선형성 풀스케일의 ≤ ± 0.2%
작동원리 열식
제어벨브형식 Normally Closed (Single disk)
씰의종류 Elastomer (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez®, etc.)
입출력신호 아날로그 모드: 0 ~ 5VDC or 4 ~ 20mA / 디지털 모드: RS-485
전원공급 +15VDC ~ +24VDC
작동온도 5 ~ 50℃ (권장 온도 범위: 15 ~ 35℃)
커넥터 와이어링
방폭 ZONE 2
디스플레이 해당없음
무게

※ sccm, slm는 표준가스유량(mL/min, L/min, at 0'C101.3kPa)를 나타내는 기호입니다.

EXO-100 Series 외관 도면
모델 A B(Fitting) C D E F G H
1/8" LOK 1/4" LOK 3/8" LOK 1/2" LOK 3/4" LOK 1/4" VCR 1/2" VCR
EXO-110
EXO-120
134 180.74 185.4 188.4 - - 181.8 - 45 12.7 174 6 122 37.5
EXO-140 148.5 - 201.3 204.3 209.9 218.1 - 203.9 45 20.5 188 22.4 120.1 37.5
EXO-145 148 - - 207 212.6 216.1 - 207 49.5 24.5 194 22.4 120.1 37.5
  • 필터 초기화하기
  • 기능
  • 유량(N2환산기준)
  • 방폭

  • 			
  • 디스플레이

  • 신호

  • 작동원리

  • 제품시리즈

제품선정가이드 목록

Total 35건 1 페이지
  • 35
    • VIC-D210
    • 5sccm~1.5slm
    • 제어범위: 풀스케일의 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일의 ≤ ± 1%
  • 34
    • VIC-D220
    • 1.5slm~50slm
    • 제어범위: 풀스케일의 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일의 ≤ ± 1%
  • 33
    • VIC-D240
    • 50~200slm
    • 제어범위: 풀스케일의 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일의 ≤ ± 1%
  • 32
    • VIC-D245
    • 200~400slm
    • 제어범위: 풀스케일의 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일의 ≤ ± 1%
  • 31
    • VIC-D145
    • 400~1000slm
    • 제어범위: 풀스케일의 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일의 ≤ ± 2%
  • 30
    • VIC-D150
    • 1000~2500slm
    • 제어범위: 풀스케일의 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일의 ≤ ± 2%
  • 29
    • CAF-145
    • 100~500slm
    • 제어범위: 풀스케일의 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일의 ≤ ± 2%
  • 28
    • CAF-150
    • 500~2000slm
    • 제어범위: 풀스케일의 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일의 ≤ ± 2.5%
  • 27
    • CAF-155
    • 2000~3000slm
    • 제어범위: 풀스케일의 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일의 ≤ ± 2.5%
  • 26
    • PSC-D245
    • 100~500slm
    • 제어범위: 풀스케일의 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일의 ≤ ± 1%
  • 25
    • PSC-D255
    • 500~2500slm
    • 제어범위: 풀스케일의 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일의 ≤ ± 2%
  • 열람중
    • EXO-110
    • 5sccm~1500sccm
    • 제어범위: 풀스케일의 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일의 ≤ ± 1%