MFM
TSM-D220 TSM-D200 Series
- 디스플레이타입 적용 시, 유량 및 동작 상태를 실시간으로 모니터링
- 빠른 응답속도 및 높은 정확도
- 외부의 영향에 대한 안정성 극대화
본문
| 제품사양 | |
|---|---|
| 유량범위(N2 기준) | 1.5~30slm |
| 유량제어범위 | 풀스케일의 2 ~ 100% |
| 정확도 | 풀스케일의 ≤ ± 1% |
| 응답시간 | ≤ 1 sec |
| 선형성 | 풀스케일의 ≤ ± 0.2% |
| 작동원리 | 열식 |
| 제어벨브형식 | - |
| 씰의종류 | Elastomer (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez®, etc.) |
| 입출력신호 | 아날로그 모드: 0 ~ 5VDC or 4 ~ 20mA / 디지털 모드: RS-485 (D-NET 가능) |
| 전원공급 | +15VDC ~ +24VDC |
| 작동온도 | 5 ~ 50℃ (권장 온도 범위: 15 ~ 35℃) |
| 커넥터 | D-SUB 9P MALE (D-NET Connector 가능) |
| 방폭 | 해당없음 |
| 디스플레이 | 적용(Option) |
| 무게 | 0.8kg |
※ sccm, slm는 표준가스유량(mL/min, L/min, at 0'C101.3kPa)를 나타내는 기호입니다.
| TSM-D200 Series 외관 도면 |
|---|
 |
| 모델 | A | B | C | D | E | F | G | H | I | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1/8" LOK | 1/4" LOK | 3/8" LOK | 1/2" LOK | 3/4" LOK | 1" LOK | 1/4" VCR | 1/2" VCR | |||||||||
| TSM-D210,220 | 76 | 122.74 | 127.32 | 130.36 | - | - | - | 123.8 | 130.1 | 30.8 | 12.7 | 110.2 | 14 | 48 | 20 | 2-M4 DP-6 |
| TSM-D230 | 76 | - | 128.84 | 131.88 | 137.48 | 145.6 | - | - | 131.4 | 35 | 21 | 123.2 | 24 | 48 | 20 | 2-M4 DP-6 |
| TSM-D240 | 76 | - | 128.84 | 131.88 | 137.48 | 145.6 | - | - | 131.4 | Ø61 | 27.8 | 135.5 | 14 | 48 | 20 | 2-M4 DP-5.5 |
| TSM-D245 | 130.1 | - | - | 189.02 | 194.6 | 198.18 | - | - | 189.1 | Ø79 | 36.4 | 154.0 | 26.5 | 48 | - | 2-M4 DP-6 |
| TSM-D250 | 130.1 | - | - | - | 198.18 | 198.18 | 206.82 | - | - | Ø90 | 42.4 | 166.0 | 26.5 | 48 | - | 2-M4 DP-6 |