MFC
VIC-D240 VIC-D200 Series
- 테프론 디스크 적용으로 전 구간에서 응답시간이 빠름
- 독성 및 부식성 가스에 대한 내구성 대폭 증대
- 서지 및 내전압 보호 회로 채택
- 온도 보정으로 주위 온도 변화가 있어도 정확도 유지
본문
| 제품사양 | |
|---|---|
| 유량범위(N2 기준) | 50~200slm |
| 유량제어범위 | 풀스케일의 2 ~ 100% |
| 정확도 | 풀스케일의 ≤ ± 1% |
| 응답시간 | ≤ 1.0 sec (10 ~ 100%) |
| 선형성 | 풀스케일의 ≤ ± 0.2% |
| 작동원리 | 열식 |
| 제어벨브형식 | Normally Closed Solenoid |
| 씰의종류 | Elastomer (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez®, etc.) |
| 입출력신호 | 아날로그 모드: 0 ~ 5Vdc or 4 ~ 20mA 디지털 모드: RS-485(Optional : DeviceNet, EtherCat) |
| 전원공급 | +15VDC ~ +24VDC |
| 작동온도 | 5 ~ 50℃ (권장 온도 범위: 15 ~ 35℃) |
| 커넥터 | Standard : D-SUB 9 pin Male Optional : DeviceNet Micro style Connector, RJ45 |
| 방폭 | 해당없음 |
| 디스플레이 | 해당없음 |
| 무게 | 2kg |
※ sccm, slm는 표준가스유량(mL/min, L/min, at 0'C101.3kPa)를 나타내는 기호입니다.
| VIC-D200 Series 외관 도면 |
|---|
 |
| 모델 | A | B | C | D | E | F | G | H | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1/8" LOK | 1/4" LOK | 3/8" LOK | 1/2" LOK | 3/4" LOK | 1/4" VCR | 1/2" VCR | ||||||||
| VIC-D210,220 | 76 | 122.74 | 127.32 | 130.36 | - | - | 123.8 | - | 30.8 | 12.7 | 136.8 | 14 | 48 | 20 |
| VIC-D240 | 95 | - | 147.84 | 150.88 | 156.48 | 163.08 | - | 150.4 | 40.8 | 19.5 | 153.6 | 23.5 | 48 | 20 |
| VIC-D245 | 95 | - | - | 199.92 | 205.5 | 209.08 | - | 200 | 49 | 24.5 | 151.8 | 14.5 | 54 | 24 |