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제품선정가이드

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MFM

TSM-D260 TSM-D200 Series

    ▪낮은 작동 차압에서도 정확하고 정밀한 유량측정 가능
    ▪디스플레이 옵션 추가 시, 유량 및 동작 상태 실시간 모니터링 가능

    (본 사양은 예고없이 변경 될 수 있습니다.)  

본문

제품사양
유량범위(N2 기준) 2,000 ~ 5,000 slm
유량제어범위 풀스케일 기준 2 ~ 100%
정확도 풀스케일 기준 ≤ ± 2%
응답시간 -
선형성 풀스케일 기준 ≤ ± 0.2%
작동원리 열식
제어벨브형식 -
씰의종류 Elastomer (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez®, etc.)
입출력신호 아날로그 모드: 0 ~ 5VDC or 4 ~ 20mA

디지털 모드: RS-485
전원공급 +15VDC ~ +24VDC
작동온도 5 ~ 50℃ (권장 온도 범위: 15 ~ 35℃)
커넥터 D-SUB 9P MALE
방폭 해당없음
디스플레이 적용(Option)
무게 12.2 kg (STS 기준) / 8.76 kg (AL기준)

※ sccm, slm는 표준가스유량(mL/min, L/min, at 0'C101.3kPa)를 나타내는 기호입니다.

TSM-D200 Series 외관 도면
  • 필터 초기화하기
  • 기능
  • 유량(N2환산기준)
  • 방폭

  • 			
  • 디스플레이

  • 신호

  • 작동원리

  • 제품시리즈

제품선정가이드 목록

Total 32건 3 페이지
  • 8
    • TSC-M255
    • 600~1500slm
    • 제어범위: 풀스케일의 5 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일의 ≤ ± 3%
  • 7
    • TSM-D210
    • 5 ccm ~ 1.5 slm
    • 제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
  • 6
    • TSM-D220
    • 1.5 ~ 30 slm
    • 제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
  • 5
    • TSM-D230
    • 30 ~ 100 slm
    • 제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
  • 4
    • TSM-D240
    • 100 ~ 400 slm
    • 제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 2%
  • 3
    • TSM-D245
    • 400 ~ 1,000 slm
    • 제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 2%
  • 2
    • TSM-D250
    • 1,000 ~ 2,000 slm
    • 제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 2%
  • 열람중
    • TSM-D260
    • 2,000 ~ 5,000 slm
    • 제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
    • 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 2%
  • 0
    • MPR-Z300
    • 사용방식이 편리한 리드아웃박스
    • 제어범위: 2채널, 4채널 선택 가능
    • 정확도: RS485 통신옵션 선택 가능