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MFC

VIC-D145 VIC-D100 Series

  • 테프론 디스크 적용으로 전 구간에서 응답시간이 빠름
  • 독성 및 부식성 가스에 대한 내구성 대폭 증대
  • 서지 및 내전압 보호 회로 채택
  • 온도 보정으로 주위 온도 변화가 있어도 정확도 유지

본문

제품사양
유량범위(N2 기준) 400~1000slm
유량제어범위 풀스케일의 2 ~ 100%
정확도 풀스케일의 ≤ ± 2%
응답시간

≤ 2 sec (2 ~ 10%)

≤ 1.5 sec (10 ~ 100%)

선형성 풀스케일의 ≤ ± 0.2%
작동원리 열식
제어벨브형식 Normally Closed Solenoid
씰의종류 Elastomer (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez®, etc.)
입출력신호 아날로그 모드: 0 ~ 5Vdc or 4 ~ 20mA

디지털 모드: RS-485(Optional : DeviceNet, EtherCat)

전원공급 +15VDC ~ +24VDC
작동온도 5 ~ 50℃ (권장 온도 범위: 15 ~ 35℃)
커넥터 Standard : D-SUB 9 pin Male
Optional : DeviceNet Micro style Connector, RJ45
방폭 해당없음
디스플레이 해당없음
무게 6.5kg

※ sccm, slm는 표준가스유량(mL/min, L/min, at 0'C101.3kPa)를 나타내는 기호입니다.

VIC-D100 Series 외관 도면
모델 A B C D E
3/8" LOK 1/2" LOK 3/4" LOK 1" LOK 1/2" VCR
VIC-D145 170 228.92 234.5 234.08 - 229 Ø79 36.4 180.6
VIC-D150 170 - 238.08 238.08 246.72 - Ø90 42.4 192.6