MFC
CAF-155 CAF Series
- 더블디스크밸브 구조로 컴팩트한 사이즈로 대유량 제어 가능
- 저압에서 대유량 제어 가능
- 직동식이기 때문에 응답속도가 빠르고, 필터 장착없이 클린 공정에 적용 가능
- 피스톤 및 다이아프램 방식에 비하여 내구성이 뛰어남
본문
| 제품사양 | |
|---|---|
| 유량범위(N2 기준) | 2000~3000slm |
| 유량제어범위 | 풀스케일의 2 ~ 100% |
| 정확도 | 풀스케일의 ≤ ± 2.5% |
| 응답시간 | ≤ 1.8 sec |
| 선형성 | 풀스케일의 ≤ ± 0.2% |
| 작동원리 | 열식 |
| 제어벨브형식 | Normally Closed Solenoid |
| 씰의종류 | Elastomer (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez®, etc.) |
| 입출력신호 | 아날로그 모드: 0 ~ 5VDC or 4 ~ 20mA / 디지털 모드: RS-485 (D-NET 가능) |
| 전원공급 | +15VDC ~ +24VDC |
| 작동온도 | 5 ~ 50℃ (권장 온도 범위: 15 ~ 35℃) |
| 커넥터 | D-SUB 9P MALE (D-NET Connector 가능) |
| 방폭 | 해당없음 |
| 디스플레이 | 해당없음 |
| 무게 | 14kg |
※ sccm, slm는 표준가스유량(mL/min, L/min, at 0'C101.3kPa)를 나타내는 기호입니다.
| CAF Series 외관 도면 |
|---|
 |
| 모델 | A | B | C | D | E | F | G | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 3/8" LOK | 1/2" LOK | 3/4" LOK | 1" LOK | |||||||
| CAF-145 | 175 | 24.5 | 49 | 140 | 199 | 205.6 | - | - | 60 | 30 |
| CAF-150 | 221 | 42.4 | 84.8 | 170 | - | 238 | 238 | 246.5 | 90 | 55 |
| CAF-155 | 239.3 | 49.2 | 98.3 | 170 | - | - | - | 246.5 | ||