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Total 32건 2 페이지

20
- EPC-245
- ◆제어범위: 압력 제어 범위: 100 mbar(g) ~ 20 bar(g)
- ◆정확도: 풀스케일의 ≤ ± 1%
- ◆응답속도: 해당 없음
19
- EPC-220
- ◆제어범위: 압력 제어 범위: 100 mbar(g) ~ 20 bar(g)
- ◆정확도: 풀스케일의 ≤ ± 1%
- ◆응답속도: 해당 없음
18
- EXO-U155
- ◆1,500 ~ 3,000 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 2.5%
17
- EXO-U150
- ◆500 ~ 1,500 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 2.5%
16
- EXO-U145
- ◆100 ~ 500 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 2%
15
- EXO-145
- ◆100 ~ 400 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
14
- EXO-140
- ◆50 ~ 200 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
13
- EXO-120
- ◆1.5 ~ 50 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
12
- EXO-110
- ◆5 sccm ~ 1.5 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
11
- PSC-D255
- ◆500 ~ 2,500 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 2%
10
- PSC-D245
- ◆100 ~ 500 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
9
- CAF-155
- ◆2,000 ~ 3,000 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 2.5%

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