MFC
EXO-110 EXO-100 Series
▪방폭 인증 획득 (인증코드_Ex-Code : Ex nA IIC T4)
▪파일롯 및 생산 플랜트에서 사용되는 견고한 설계 (IP65)
▪안전 기준 강화를 위한 서지 보호회로 적용
▪환경 온도 변화에도 정확도를 유지하기 위해 온도 보상회로 적용
(본 사양은 예고없이 변경 될 수 있습니다.)
본문
| 제품사양 | |
|---|---|
| 유량범위(N2 기준) | 5 sccm ~ 1.5 slm |
| 유량제어범위 | 풀스케일 기준 2 ~ 100% |
| 정확도 | 풀스케일 기준 ≤ ± 1% |
| 응답시간 | ≤ 1 sec |
| 선형성 | 풀스케일 기준 ≤ ± 0.2% |
| 작동원리 | 열식 |
| 제어벨브형식 | Normally Closed Solenoid |
| 씰의종류 | Elastomer (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez®, etc.) |
| 입출력신호 | 아날로그 모드: 0~5VDC or 4~20mA디지털모드: RS-485 |
| 전원공급 | +15VDC ~ +24VDC |
| 작동온도 | 5 ~ 50℃ (권장 온도 범위: 15 ~ 35℃) |
| 커넥터 | 터미널 블럭 배선 방식 |
| 방폭 | 사용환경: ZONE 2 보호등급: IP65 |
| 디스플레이 | 해당없음 |
| 무게 | 2.9 kg (STS 기준) / 2.08 kg (AL기준) |
※ sccm, slm는 표준가스유량(mL/min, L/min, at 0'C101.3kPa)를 나타내는 기호입니다.
| EXO-100 Series 외관 도면 |
|---|
 |
| 모델 | A | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1/8" LOK | 1/4" LOK | 3/8" LOK | 1/2" LOK | 1/4" VCR | 1/2" VCR | 6mm | 8mm | 10mm | 12mm | |
| EXO-110 | 181 | 186.3 | 188.2 | 192.2 | 181 | 189.6 | 184.8 | 187.2 | 188.4 | 193.6 |