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제품선정가이드

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MFC

CAF-150 CAF Series

  • 더블디스크밸브 구조로 컴팩트한 사이즈로 대유량 제어 가능
  • 저압에서 대유량 제어 가능
  • 직동식이기 때문에 응답속도가 빠르고, 필터 장착없이 클린 공정에 적용 가능
  • 피스톤 및 다이아프램 방식에 비하여 내구성이 뛰어남

본문

제품사양
유량범위(N2 기준) 500~2000slm
유량제어범위 풀스케일의 2 ~ 100%
정확도 풀스케일의 ≤ ± 2.5%
응답시간

≤ 1.8 sec

선형성 풀스케일의 ≤ ± 0.2%
작동원리 열식
제어벨브형식 Normally Closed Solenoid
씰의종류 Elastomer (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez®, etc.)
입출력신호

아날로그 모드: 0 ~ 5VDC or 4 ~ 20mA

디지털 모드: RS-485 (D-NET 가능)

전원공급 +15VDC ~ +24VDC
작동온도 5 ~ 50℃ (권장 온도 범위: 15 ~ 35℃)
커넥터 D-SUB 9P MALE (D-NET Connector 가능)
방폭 해당없음
디스플레이 해당없음
무게 10kg

※ sccm, slm는 표준가스유량(mL/min, L/min, at 0'C101.3kPa)를 나타내는 기호입니다.

CAF Series 외관 도면
모델 A B C D E F G
3/8" LOK 1/2" LOK 3/4" LOK 1" LOK
CAF-145 175 24.5 49 140 199 205.6 - - 60 30
CAF-150 221 42.4 84.8 170 - 238 238 246.5 90 55
CAF-155 239.3 49.2 98.3 170 - - - 246.5