MFC
VIC-D210 VIC-D200 Series
- 因适用PTFE DISK，整个区间的回应时间快
- 对毒性和腐蚀性气体的耐久性大幅增加
- 采用浪涌及耐电压保护电路
- 通过温度补正，在周围温度变化下也可维持准确度
Contents
| 产品配置 | |
|---|---|
| 流量范围(N2 标准) | 5sccm~1.5slm |
| 流量控制范围 | 满量程的2 ~ 100% |
| 准确度 | 满量程的≤ ± 1% |
| 回应时间 | ≤ 1.0 sec (10 ~ 100%) |
| 线性 | 满量程的≤ ± 0.2% |
| 运转原理 | 热式 |
| 控制阀形式 | Normally Closed Solenoid |
| 密封种类 | Elastomer (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez®, etc.) |
| 输入输出信号 | 模拟性: 0 ~ 5Vdc or 4 ~ 20mA 数字型: RS-485(Optional : DeviceNet, EtherCat) |
| 电源供应 | +15VDC ~ +24VDC |
| 运转温度 | 5 ~ 50℃ (建议温度范围: 15 ~ 35℃) |
| 连接器 | Standard : D-SUB 9 pin Male Optional : DeviceNet Micro style Connector, RJ45 |
| 防爆 | 无相关内容 |
| 显示器 | 无相关内容 |
| 重量 | 1kg |
Sccm、slm是显示标准气体流量(mL/min，L/min，at 0'C101.3kPa)的符号。
| VIC-D200 Series 外观图纸 |
|---|
 |
| Model | A | B | C | D | E | F | G | H | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1/8" LOK | 1/4" LOK | 3/8" LOK | 1/2" LOK | 3/4" LOK | 1/4" VCR | 1/2" VCR | ||||||||
| VIC-D210,220 | 76 | 122.74 | 127.32 | 130.36 | - | - | 123.8 | - | 30.8 | 12.7 | 136.8 | 14 | 48 | 20 |
| VIC-D240 | 95 | - | 147.84 | 150.88 | 156.48 | 163.08 | - | 150.4 | 40.8 | 19.5 | 153.6 | 23.5 | 48 | 20 |
| VIC-D245 | 95 | - | - | 199.92 | 205.5 | 209.08 | - | 200 | 49 | 24.5 | 151.8 | 14.5 | 54 | 24 |