열식 센서 대비 탁월한 내구성과 이중 밸브 기반의 초고속 유령 제어 솔루션

[Core Features : 파티클, 오염환경에서의 탁월한 내구성]

DPT 차압식 MFC

Product Features

제품 특징

  • 정밀한 유량 측정

    차압을 이용한 유량

  • 높은 신뢰성과 장기적인 안정성

    다이어프램 압력센서 적용으로 센서 내구성 및 수명 향상

  • 다양한 사업 분야에 응용 가능

    O₃, SiH₄ 등과 같은 파티클 발생 공정에 적용 가능

  • 통신 기반 제어

    RS-485 / RS-232 통신 지원

Recommended Customer

추천고객

  • 01

    고정밀·대유량 가스의 질량제어가 필요한 공정

  • 02

    파티클·오염물질 발생으로 내구성이 중요한 공정

  • 03

    신뢰성과 유지보수를 중시하는 산업 현장

  • 04

    통신 기반으로 가스질량을 확인·제어해야 하는 시스템

Application Examples

주요 적용사례

반도체 공정 장비 (Etch, CVD, ALD)

연구·실험 장비

의료·바이오

특수 가스 공급 시스템

Overview

차압식 MFC Overview

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