광범위 유량과 저 차압 환경에서도 정밀도와 안정성을
동시에 제공하는 유량 측정 솔루션

[Core Features : 정밀 유량 측정을 위한 핵심 기능]

MFM Series 표준형

Product Features

제품 특징

  • 광범위 유량 커버리지

    5sccm ~ 5,000 slm 범위 지원

    다양한 모델 라인업으로 폭넓은 유량 대응

    공정 조건에 맞는 최적 모델 선택 가능

  • 저 차압 환경 정밀 측정

    낮은 작동 차압에서도 높은 정확도 유지

    미서 유량 구간에서도 안정적인 측정 성능

    공정 조건 변화에도 일관된 데이터 제공

  • 실시간 상태 모니터링

    디스플레이(옵션) 적용 시 유령 및 동작 상태 실시간 확인

    현장 가시성 향상 및 빠른 대응 가능

    운영 효율성 개선

  • 멀티 가스 대응

    멀티 가스 유령 출력 기능 지원

    단일 장비로 다양한 가스 적용 가능

    공정 유연성 및 확장성 확보

Recommended Customer

추천고객

  • 01

    미세 유량 제어 및 데이터 정확도가 공정 품질에 직접적인 영향을 미치는 환경 높은 반복성과 안정성이 요구되는 공정

  • 02

    sccm 단위의 미세 유량 측정이 필요하며 작은 변화에도 민감한 공정 제어가 요구되는 환경

  • 03

    낮은 작동 차압 조건에서도 높은 정확도와 안정적인 유량 측정이 필요한 공정 미세 유령 데이터의 신뢰성이 중요한 경우

  • 04

    여러 종류의 가스를 사용하는 공정에서 하나의 장비로 다양한 가스를 대응하여 운용 효율성과 시스템 유연성이 요구되는 환경

Application Examples

주요 적용사례

반도체 공정 장비 (Etch, CVD, ALD)

연구·실험 장비

의료·바이오

특수 가스 공급 시스템

Overview

표준형 MFM Overview