진공게이지

CDG (Capacitance Diaphragm Vacuum Guage)
고정밀 정확도와 우수한 내구성의 진공압력 측정의 표준 게이지
국내 최초 캐패시턴스 다이어프램 진공 게이지

진공게이지

MKP UNI Series

MKP UNI CDG는 정전용량식 격막 진공계 제품군으로, 정밀한 진공 압력 측정에서 안정적인 성능을 발휘하도록 설계되었습니다. 1~1,000 Torr의 전체 압력 범위에서 사용할 수 있으며, 가스 종류에 관계없이 정확한 진공 압력을 측정하고 선형 0~10 V의 아날로그 출력 신호로 제공합니다. 내부식성이 우수한 Stainless Steel 316L 센서를 적용하여 수백만 회의 압력 주기 환경에서도 긴 수명과 뛰어난 제로 안정성을 유지합니다. 또한, 특허 기술이 적용된 오염물질 포집 구조는 공정 중 발생하는 오염으로부터 게이지를 보호하여 제품의 신뢰성과 수명을 크게 향상시킵니다. 고성능 디지털 전자회로는 게이지의 측정 안정성과 재현성을 높이며, 푸시 버튼 제로 기능과 온도 보정 기능을 통해 사용 편의성과 측정 정밀도를 동시에 향상시켰습니다. MKP UNI CDG는 고정밀 진공 측정이 요구되는 다양한 산업 분야에 적합한, 고품질이면서 경제적인 진공 압력 센서 솔루션입니다.

Product Features

제품 특징

  • 다양한 압력 범위

    1~1,000 Torr의 전체 압력 범위

    F.S 0.1~100% 범위의 압력 측정 가능

    정밀한 진공 측정 정확도와 빠른 측정 속도

  • 고정밀 정확도와 재현성

    온도 보상기능 적용으로 환경 온도와 무관한 정확도 유지

    높은 재현성 확보

    뛰어난 장시간 신호 안정성

  • 우수한 내부식성

    내부식성 STS 316L 센서

    접합부 용접

    오염 방지 구조(특허)

  • 실시간 압력 디스플레이

    측정 압력을 OLED 디스플레이로 표시

    사용자 편의성 향상

Product Structure

제품 구조

정전용량식 다이어프램 진공게이지(Capacitance Diaphragm Gauge, CDG)는 압력에 따라 탄성 변형되는 금속 다이어프램의 미세한 변위를 정전용량 변화로 변환하여 절대압을 측정하는 고정밀 진공 센서입니다. 센서는 일반적으로 기준 압력이 형성된 밀폐된 기준 챔버와 공정 압력이 인가되는 측정 챔버로 구성되며, 두 영역 사이에 금속 다이어프램이 위치합니다.
측정 압력이 증가하면 다이어프램이 기준 챔버 방향으로 미세하게 변형되고, 다이어프램과 고정 전극 사이의 간격이 변화하면서 정전용량 값이 변합니다. 이 정전용량 변화는 일반적으로 pF 이하의 매우 작은 수준이므로, 저노이즈 증폭 회로와 고분해능 계측 회로를 통해 안정적으로 검출됩니다. 이후 온도 보상, 선형성 보정, 교정 계수 적용 등의 신호 처리 과정을 거쳐 최종적인 압력 값으로 변환됩니다.
Technological Differentiation

MKP UNI CDG의 독창적인 기술 차별성

특허증

특허기술 기반의 혁신적인 센서 구조

대한민국 특허 제10-2252221호
축전용량식 진공게이지 (등록일 : 2021.05.10)

MKP UNI CDG는 자체 개발한 특허 기술을 적용하여 기존 정전용량식 진공게이지의 한계를 개선하였습니다. 센서 내부 구조를 최적화하여 오염에 의한 성능 저하를 최소화하고, 장기간 안정적인 압력 측정이 가능하도록 설계되었습니다.

주요 기술적 특징

  • 01

    오염물질에 의한 다이어프램 변형 최소화

    공정 중 발생하는 파티클을 포집하는 독자적인 센서 구조를 적용하여 다이어프램의 탄성 특성 변화를 최소화합니다.

  • 02

    장기 안정성(Long-term Stability) 향상

    다이어프램의 기계적 변형을 줄여 Zero Drift와 Span Drift를 감소시키며, 장기간 안정적인 측정 성능을 제공합니다.

  • 03

    고신뢰성 압력 측정

    반도체 및 디스플레이 공정과 같이 높은 정밀도가 요구되는 환경에서도 반복성과 재현성이 우수한 압력 측정 성능을 제공합니다.

  • 04

    제품 수명 연장

    센서에 가해지는 오염 및 응력을 효과적으로 저감하여 제품의 내구성과 사용 수명을 향상시킵니다.

  • 05

    유지보수 비용 절감

    오염에 따른 성능 저하가 감소하여 교정 주기 및 유지보수 빈도를 줄일 수 있으며, 장비 운영 효율을 높입니다.

Comparison of CDG

진공 게이지 비교

측정 압력범위 정확도 재현성 공정가스 내성 가스 의존
(압력측정)
정전용량식 게이지

10⁻³~10³ Torr

0.25~0.5% R.S

매우 우수

우수

없음
피라니 게이지 10⁻³~10³ Torr 10~30% R.S 보통 매우 낮음 있음
이온화 게이지 10⁻⁹~10⁻³ Torr 10~20% R.S 보통 낮음 있음
정전용량식 다이어프램 진공게이지(CDG)의 가장 큰 특징은 압력에 따른 다이어프램 변형을 정전용량 변화로 측정한다는 점입니다. 따라서 열전도도에 의존하는 피라니게이지나 기체 이온화 특성을 이용하는 이온화게이지와 달리, 기체의 열전도도, 점도, 이온화 특성 등에 거의 영향을 받지 않습니다. 이로 인해 가스 종류에 따른 감도 차이가 거의 없으며, 혼합 가스나 부식성 가스 환경에서도 높은 정확도를 유지할 수 있습니다. 또한 기계적 변형과 정전용량 측정을 기반으로 하는 원리로 인해 장기 안정성과 반복성이 우수하며, 저압 영역부터 대기압 근처까지 넓은 압력 범위에서 높은 정확도를 확보할 수 있습니다.

이러한 특성 덕분에 CDG는 고정밀도와 장기 안정성이 요구되는 기준 센서 용도로도 널리 활용되고 있습니다.
Use Examples

활용 예시

시스템 구성

공정 챔버 진공압력 측정, 제어의 기준 센서로 활용

활용 예시 이미지
Vacuum Calibration Equipment

정밀한 교정 시스템이 만드는
신뢰할 수 있는 품질

진공 교정 설비

MKP만의 진공 교정 설비를 통한
정밀한 교정 시스템

MKP는 자체 구축한 진공 교정시스템을 기반으로 모든 진공게이지의 성능을 정밀하게 교정하고 검증합니다.
압력 제어부터 측정, 데이터 수집 및 성능 검증까지 전 과정을 자동화하여 높은 정확도와 반복성을 확보하고 있으며, 엄격한 품질 기준을 충족한 제품만을 고객에게 제공합니다.

  • 01

    고정밀 압력 교정

    0.01 Torr부터 1000 Torr까지 다양한 압력 영역에서 정밀한 교정이 가능하여 제품의 측정 정확도를 보장합니다.

  • 02

    자동화된 교정 프로세스

    자동 압력 제어와 실시간 데이터 수집 시스템을 적용하여 작업자의 오차를 최소화하고 일관된 품질을 유지합니다.

  • 03

    체계적인 품질 관리

    표준화된 교정 절차와 데이터 관리 시스템을 통해 제품 이력과 측정 결과를 체계적으로 관리합니다.

  • 04

    다양한 제품 대응

    여러 측정 범위와 사양의 진공게이지를 하나의 시스템에서 효율적으로 교정할 수 있도록 설계되었습니다.

Application Field

응용 분야

Etch, CVD, PVD, ALD용
반도체 제조 장비

데이터 저장 및 디스플레이 제조 장비

산업용 진공 장비

일반 고정밀 압력 측정 분야

Overview

진공게이지 MFC Overview

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