미세 유량 영역에 최적화된 정밀 제어

MFC Series 초 저유량

Product Features

제품 특징

  • 초 저유량 영역에 최적화된 유량제어

    초 저유량 제어가 필요한 환경에서 안정적인 유량 제어 성능 제공

  • 빠른 응답 & 정밀 제어

    전 구간 즉각적인 응답과 정밀 제어 성능 제공

  • 우수한 반복성과 재현성

    반복 운전 시에도 일관된 유량 제어로 공정 신뢰성 향상

  • 다양한 가스 및 공정 대응

    산업용·에너지·화학 가스 등 폭넓은 적용 가능

Recommended Customer

추천고객

  • 01

    재현성과 안정성을 중시하는 산업 현장 및 미세유량을 반복적으로 재현해야되는 공정

  • 02

    초미세 공정 제어가 요구되는 반도체.첨단 분야

  • 03

    ALD, CVD 등 초 박막 공정의 가스 제어 , 미세 유량 변화에도 공정에 대한 결과가 민감한 고객

  • 04

    데이터 신뢰성이 중요한 연구.시험 환경 등

Application Examples

주요 적용사례

반도체 공정 장비(Etch, EVD, ALD)

바이오·의료 가스 제어

분석·교정 장비

연구·실험 장비