PID 컨트롤러 기반의 광범위한 압력 제어와 원거리 제어 편의성을 갖춘 스마트 압력 제어 솔루션

[Core Features : 빠르고 안정적인 전자식 압력 제어]

EPC 전자압력조정기

Product Features

제품 특징

  • 목표압력을 자동으로 유지

    출구 유량과 관계없이 일정한 압력 유지

    압력 변동 최소화

    안정적인 아날로그 입출력 구현

  • 챔버 압력 유지

    실시간 공급 유량 조절을 통한 압력 제어

  • 우수한 반복성

    동일 조건에서 반복 제어 성능 우수

    공정 편차 감소에 효과적

  • 통신 기반 제어

    RS-485 / RS-232 통신 지원

Recommended Customer

추천고객

  • 01

    공정 챔버의 압력을 빠르고 정확하게 유지, 제어해야 되는 시스템

  • 02

    기계식 레귤레이터를 대체하여 배관 압력을 전자식으로 제어하고자 하는 환경

  • 03

    토출 유량 무관하게 압력손실, 흔들림 없이 압력제어가 요구되는 공정

  • 04

    통신 기반으로 압력 상태를 확인하고 제어해야 하는 시스템

Application Examples

주요 적용사례

반도체 공정 장비 (Etch, CVD, ALD)

연구·실험 장비

의료·바이오

특수 가스 공급 시스템

Overview

전자압력조정기(EPC) Overview

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