가혹한 부식성 가스 환경부터 협소한 설치 공간까지 대응하는
고신뢰 산업용 스페셜 라인업

[스페셜 솔루션: 공정의 한계를 극복하는 통합 솔루션]

MFC Series 스페셜

Product Features

제품 특징

  • 초소형 스마트 설계

    초소형 구조 설계로 협소한 공간에서도 제약 없이 설치가 가능

    FND 디스플레이를 통해 현장에서 실시간 상태 확인 지원

  • 전 구간 초고속 응답

    고속 센싱과 응답지연을 최소화한 밸브제어 기술로 미세 유량 제어 속도 향상

  • 극한 공정용 내구 설계

    메탈 가스켓, 테프론 캡슐 오링, 피팅부 용접 구조 적용

    독성, 부식성 가스 환경에서도 누설 리스크 최소화 및 내구성 확보

  • 지능형 환경 보정 & 보호

    온도 보상 회로로 외부 환경 변화에도 정확도 유지

    서지 보호 회로 적용으로 불안정한 전원 환경에서도 시스템 안정성 확보

Recommended Customer

추천고객

  • 01

    장비 내구 공간이 제한적이어서 기존 MFC 설치가 어렵고, 현장에서 즉각적인 유량 모니터링이 필요한 공정

  • 02

    부식성, 독성 가스를 사용해 내부 부식과 누설 리스크가 높고, 높은 기밀성과 반복 유지 신뢰성이 요구되는 공정

  • 03

    공정 내 온도 편차로 인해 제어 오차가 발생하거나, 장비 고장으로 다운타임 리스크가 큰 현장

  • 04

    공정 사이클이 매우 짧아 즉각적인 응답 성능이 필요하며, 구간 내 흔들림 없는 미세 유량 제어가 필수적인 경우

Application Examples

주요 적용사례

반도체 공정 장비 (Etch, CVD, ALD)

연구·실험 장비

의료·바이오

특수 가스 공급 시스템