고해상도 디지털 제어와 산업용 필드버스 통신을
공정 데이터와 제어를 하나로 통합한 디지털 MFC 솔루션

MFC Series 디지털

Product Features

제품 특징

  • 완전한 디지털 제어 구조

    고해상도 ADC 센서기반 신호처리

    디지털 보상 알고리즘을 통한 비선형 보정

    공정 조건 변화에 대한 빠른 응답

  • 신뢰성과 내구성

    디지털 연산 기반의 일관된 제어 성능

    아날로그 입출력 보호회로 적용

    장기간 연속 운전에도 안정적인 동작

  • 데이터 중심의 공정 운영

    실시간 유량·상태 데이터 모니터링

    알람·이벤트·진단 정보 제공

    스마트 팩토리 및 자동화 시스템 대응

  • 디지털 인터페이스 기반 통신

    Modbus / DeviceNet / EtherCAT 지원

    실시간 데이터 송수신

    다수의 MFC 동기 제어

Recommended Customer

추천고객

  • 01

    디지털 MFC의 성능이 필요하지만 통신설정·복잡도는 원하지 않는 고객

  • 02

    기존 설비를 변경하지 않고 성능을 업그레이드 하려는 현장

  • 03

    신뢰성과 유지보수를 중시하는 산업 현장

  • 04

    가성비와 안정성을 동시에 추구하는 OEM

Application Examples

주요 적용사례

반도체 공정 장비 (Etch, CVD, ALD)

디스플레이 / OLED 제조

스마트 팩토리 자동화 라인

중앙 집중식 공정 제어 환경

Overview

디지털 MFC Overview