광범위 유량과 저 차압 환경에서도 정밀도와 안정성을
동시에 제공하는 유량 측정 솔루션

[Core Features : 정밀 유량 측정을 위한 핵심 기능]

MFM Series 방폭형

Product Features

제품 특징

  • 광범위 유량 커버리지

    5sccm ~ 5,000 slm 범위 지원

    다양한 모델 라인업으로 폭넓은 유량 대응

    공정 조건에 맞는 최적 모델 선택 가능

  • 저 차압 환경 정밀 측정

    낮은 작동 차압에서도 높은 정확도 유지

    미서 유량 구간에서도 안정적인 측정 성능

    공정 조건 변화에도 일관된 데이터 제공

  • 안정성과 신뢰성을 최우선으로 하는 산업현장

    가연성, 폭발성 가스를 취급하는 공정 대응

  • 우수한 반복성과 재현성

    반복 운전 시에도 일관된 유량 제어로 공정 신뢰성 향상

Recommended Customer

추천고객

  • 01

    수소, 실란, 암모니아 등 특수 가스를 사용하는 공정

  • 02

    연료 가스 및 각종 유기용제 증기 등의 취급공정

  • 03

    현장 신뢰성과 안전 규격 준수가 매우 중요한 공정

  • 04

    화재·폭발 위험 관리가 필요한 고객층

Application Examples

주요 적용사례

반도체 공정 장비 (Etch, CVD, ALD)

화학·석유화학 플랜트

정유 및 가스 산업체

2차 전지·에너지 분야

Overview

방폭형 MFM Overview

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